外観検査装置Dione

独自の検査光学系と最新のデータ処理技術により、お客様の検査環境の更なる高品質化、高速化を実現します。
 
また、省スペース設計により既存の製造ラインから、新設ラインまで場所を選ばず、様々なシーンでお使い頂けます。
 
特長:
・DB比較、ダイ・トゥ・ダイ比較等、各種検査ロジックを実装
・プロセス起因等の撮像イメージの変形に対応
・独自の光学系技術による反射・透過の高速同時検査
・省スペース設計