Pictor（ピクター）はレーザを用いてフォトマスク上の微細な黒欠陥・白欠陥を修正する装置です。
　最適化された熱設計と機構設計により、従来装置同等の修正精度を確保しながら、省スペース、低ランニングコストを実現、フォトマスク修正に必要なあらゆる機能を実装しています。
 

 

＜特徴＞

• 90～130nmノードに対応

• 優れた経済性と省スペースを実現
  　最適化された熱設計による電力および冷却水 用力の削減
  　機構設計の最適化によりメインボディの設置面積を47％削減

• 高い欠陥修正精度(3σ25nm)
  　業界標準の従来機種の精度を安定して実現