外観検査装置Gemini

 中小型OLEDの生産増やG10.5(約3m×3.4m)マザーガラスを用いたFPD生産増により、ディスプレイ用フォトマスクの高精細化や大型化が進展しています。

 Geminiは、当社が創業より培った独創的なオプトメカトロ技術により、8Kディスプレイや中小型有機ELディスプレイ用フォトマスクの要求に応える高速かつ高精度な外観検査を提供します。

 

<特徴>

  • 高剛性石定盤
  • 石定盤とコンパクトに組み合わされたアクティブ除振台
  • 独自の高精度・高剛性マスクホールド・ローテーション機構
  • セラミック製垂直エアーガイド
  • 各種検査ロジック
  • CADデータベース変換回路(内製)を用いた比較検査
  • ムラマッピング
  • 微小コンタクトホール検査