欠陥修正装置Sculptor

Sculptorは、半導体およびFPD用フォトマスクの欠陥修正装置です。

 

ガスウィンドウ方式レーザーCVDによりオープン欠陥(パターンの欠けや抜け)の修正が可能です。また、ショート欠陥(パターンの異常接続)の修正に最適化されたレーザーを搭載しており、高品質な欠陥の修正が可能です。

 

ハーフトーンパターン(光が金属膜を透けて通過するパターン)が形成されたフォトマスクの欠陥修正にも対応しています。