赤字の工程番号でブイ・テクノロジーの製品が活躍しています。
工程01
ガラス基板受入れ/洗浄
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工程02
感光性レジスト塗布
工程03
露光
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工程04
現像
工程05
RGB形成 BM完成後R、G、B毎に工程01~04が繰り返されRGBパターンが形成されます。
工程06
検査 工程01~05の工程の中で必要に応じて欠陥検査が行われます。
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工程07
修正 工程06の後で必要に応じて欠陥リペアが行われます。
工程08
測定 工程01~05の工程の中で必要に応じてパターン測定が行われます。
工程09
観察 BM完成後R、G、B毎に工程01~04が繰り返されRGBパターンが形成されます。
工程10
ITO(透明電極)膜形成
工程11
フォトスペーサー(PS)形成工程
工程12
最終検査工程 工程10~11の間で必要に応じて各種検査が行われ、カラーフィルターが出荷されます。