TFT（低温ポリシリコンTFT）製造工程とブイ・テクノロジーの装置

赤字の工程番号でブイ・テクノロジーの製品が活躍しています。

工程01

ガラス基板受入れ/洗浄

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工程02

金属膜成膜

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工程03

ムラ検査

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工程04

レジスト塗布

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工程09

パターン測定

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【装置の詳細】

工程10

絶縁膜・a-Si成膜

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工程11

レーザーアニール

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工程12

チャネル保護膜
～イオンドーピング
～層間絶縁膜/信号線
～平坦化膜/画素電極形成

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工程13

最終検査

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