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2021/11/29 第25期 中間株主通信
（1,327KB）
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2021/11/26 新市場区分「プライム市場」選択に関する取締役会決議のお知らせ
（114KB）
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2021/11/09 2022年3月期第2四半期決算概要(補足説明資料)
（1,167KB）
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2021/11/09 四半期報告書-第25期第2四半期(2021年7月1日-2021年9月30日)
（111KB）
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2021/11/08 業績予想の修正に関するお知らせ
（155KB）
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2021/11/08 2022年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)
（182KB）
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2021/10/08 IRカレンダーを更新しました。(2022年3月期第2四半期決算発表予定日を更新)
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2021/08/11 四半期報告書-第25期第1四半期(2021年4月1日-2021年6月30日)
（93KB）
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2021/08/10 膜厚測定装置(顕微分光膜厚測定ヘッド)のご案内
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2021/08/10 2022年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)
（180KB）
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2021/08/10 2022年3月期第1四半期決算概要(補足説明資料)
（819KB）
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2021/08/06 ”JPX日経インデックス400”構成銘柄に再選定
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2021/08/02 イノベーションセンター(仮称)の設立について
（172KB）
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2021/07/09 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/07/09
（130KB）
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2021/07/08 IRカレンダーを更新しました。(2022年3月期第1四半期決算発表予定日を更新)
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2021/06/25 第24期 株主通信
（1,813KB）
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2021/06/25 有価証券報告書-第24期(2020年4月1日-2021年3月31日)
（646KB）
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2021/06/24 2021年定時株主総会プレゼンテーション資料
（1,705KB）
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2021/06/03 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ
（87KB）
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2021/05/28 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/05/28
（108KB）
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2021/05/28 2021年定時株主総会招集ご通知
（823KB）
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2021/05/28 2021年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項
（492KB）
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2021/05/26 連結子会社株式の追加取得による完全子会社化のお知らせ
（168KB）
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2021/05/13 2021年3月期決算補足説明資料
（1,467KB）
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2021/05/12 農業事業への参入と合弁会社設立に関するお知らせ
（323KB）
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2021/05/12 定款の一部変更に関するお知らせ
（89KB）
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2021/05/12 2021年3月期決算短信[日本基準](連結)
（229KB）
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2021/04/13 IRカレンダーを更新しました。(2021年3月期決算発表予定日等を更新)
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2021/04/01 子会社の代表取締役の異動に関するお知らせ
（101KB）
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2021/03/03 中国大手メモリーメーカーからのテスター受注について
（112KB）
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2021/02/26 指名・報酬委員会(任意の諮問機関)の設置に関するお知らせ
（77KB）
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2021/02/12 四半期報告書-第24期第3四半期(2020年10月1日-2020年12月31日)
（88KB）
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2021/02/10 2021年3月期第3四半期決算概要(補足説明資料)
（832KB）
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2021/02/10 2021年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)
（164KB）
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2021/01/08 IRカレンダーを更新しました。(2021年第3四半期決算発表予定日を更新)
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2020/12/24 年末年始の休業についてのお知らせ
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2020/12/24 シリコンウェーハ用装置の受注について
（91KB）
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2020/12/22 西条市次世代育成スポーツ支援事業「柔道教室」に講師を派遣いたしました。
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2020/12/15 リソテックジャパン株式会社の株式取得(完全子会社化)に関するお知らせ
（106KB）
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2020/11/30 第24期 中間株主通信
（1,094KB）
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2020/11/24 IDW20にてコストパフォーマンスに優れたレーザーアニール技術について講演いたします。
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2020/11/18 講道館杯全日本体重別選手権で宇髙選手兼監督が準優勝いたしました。
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2020/11/11 2021年3月期第2四半期決算概要(補足説明資料)
（1,517KB）
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2020/11/11 四半期報告書-第24期第2四半期(2020年7月1日-2020年9月30日)
（103KB）
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2020/11/10 2021年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)
（180KB）
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2020/11/09 ”JPX日経インデックス400”構成銘柄に再選定
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2020/10/22 物質・材料研究とマスクレス露光装置「DL-1000」
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2020/10/12 IRカレンダーを更新しました。(2021年3月期中間期決算発表日および説明会日程)
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2020/10/09 ICDT2020にてレーザーアニール技術について講演いたします。
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2020/08/17 株式報酬等制度における株式取得に係る事項の決定に関するお知らせ
（133KB）
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2020/08/17 株式報酬等制度の導入に伴う第三者割当による自己株式の処分に関するお知らせ
（196KB）
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2020/08/11 四半期報告書-第24期第1四半期(2020年4月1日-2020年6月30日)
（81KB）
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2020/08/07 2021年3月期第1四半期決算概要(補足説明資料)
（1,052KB）
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2020/08/07 2021年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)
（152KB）
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2020/07/08 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2020/07/08
（107KB）
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2020/07/08 IRカレンダーを更新しました（第1四半期決算発表日を更新）。
IRカレンダーを更新しました（第1四半期決算発表日を更新）。 読む IRカレンダーを更新しました（第1四半期決算発表日を更新）。
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2020/07/01 新しい勤務体制の導入について
（111KB）
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2020/06/26 第23期 株主通信
（2,170KB）
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2020/06/26 有価証券報告書-第23期(2019年4月1日-2020年3月31日)
（623KB）
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2020/06/25 2020年定時株主総会プレゼンテーション資料
（3,511KB）
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2020/06/05 第23回定時株主総会における議案に関する補足説明について
（80KB）
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2020/06/01 医療用防護服を横浜市へ寄贈いたしました。
（141KB）
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2020/05/29 時事通信社の女子柔道部インタビュー記事について
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2020/05/28 2020年定時株主総会招集ご通知
（1,042KB）
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2020/05/28 2020年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項
（466KB）
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2020/05/26 緊急事態宣言解除後の勤務体制について
（132KB）
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2020/05/12 2020年3月期決算補足説明資料
（1,562KB）
第3四半期決算決算概要（2月10日） 読む 2020年3月期決算補足説明資料
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2020/05/12 役員に対する株式報酬制度の導入に関するお知らせ
（148KB）
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2020/05/12 2020年3月期決算短信[日本基準](連結)
（232KB）
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2020/05/08 在宅勤務体制の延長について
（128KB）
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2020/04/23 大口受注のお知らせ
（114KB）
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2020/04/17 弊社の在宅勤務状況について
（86KB）
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2020/04/09 IRカレンダーを更新しました。（2020年3月期（23期）決算発表日と説明会中止について）
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2020/04/08 【続報】新型コロナウイルス感染拡大防止に向けた当社の対応について
（168KB）
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2020/04/01 女子柔道部の設立について
（222KB）
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2020/03/30 新型コロナウイルス感染拡大防止に向けた当社の対応について
（152KB）
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2020/02/12 2020年3月期第3四半期決算概要(補足説明資料)
（1,541KB）
第3四半期決算決算概要（2月10日） 読む 2020年3月期第3四半期決算概要(補足説明資料)
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2020/02/12 四半期報告書-第23期第3四半期(2019年10月1日-2019年12月31日)
（81KB）
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2020/02/10 期末配当予想の修正に関するお知らせ
（83KB）
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2020/02/10 業績予想の修正に関するお知らせ
（159KB）
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2020/02/10 2020年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)
（162KB）
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2020/01/07 IRカレンダーを更新しました。（2020年3月期第3四半期決算発表日）
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2019/12/24 年末年始の休業についてお知らせ12月28日（土）から1月5日（日）の間、年末年始のお休みとさせていただきます。ご不便をおかけしますが、よろしくお願いいたします。
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2019/11/29 第23期 中間株主通信
（930KB）
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2019/11/12 四半期報告書-第23期第2四半期(2019年7月1日-2019年9月30日)
（99KB）
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2019/11/12 中間決算説明会資料（11月12日）
（1,522KB）
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2019/11/11 2020年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)
（179KB）
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2019/10/18 第29回ファインテック・ジャパン出展および専門技術セミナーでの講演について
（1,998KB）
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2019/10/10 IRカレンダーを更新しました。（2020年3月期中間期決算発表日および説明会日程）
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2019/10/03 (続報)合弁会社(中小型OLEDサルベージ会社)設立に関するお知らせ
（70KB）
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2019/09/30 和解による訴訟の解決に関するお知らせ
（94KB）
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2019/09/25 (訂正)合弁会社（中小型OLEDサルベージ会社）設立に関するお知らせ
（61KB）
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2019/09/25 中国における子会社（投資性公司）の設立に関するお知らせ
（109KB）
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2019/09/25 合弁会社(中小型OLEDサルベージ会社)設立に関するお知らせ
（121KB）
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2019/08/19 事業説明会資料(2019年8月19日)
（1,364KB）
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2019/08/19 株式会社ナノシステムソリューションズの株式取得(完全子会社化)に関するお知らせ
（176KB）
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2019/08/13 2020年3月期第1四半期報告書
（84KB）
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2019/08/09 2020年3月期第1四半期決算概要(補足説明資料)
（749KB）
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2019/08/09 2020年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)
（196KB）
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2019/08/08 ”JPX日経インデックス400”構成銘柄に選定
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2019/08/05 合弁会社設立に関するお知らせ（続報）
（111KB）
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2019/07/30 合弁会社設立に関するお知らせ
（137KB）
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2019/07/09 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2019/07/09
（76KB）
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2019/07/08 IRカレンダーを更新しました（第1四半期決算発表日を更新）。
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2019/06/28 第22期株主通信
（1,003KB）
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2019/06/27 有価証券報告書-第22期(2018年4月1日-2019年3月31日)
（501KB）
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2019/06/26 2019年定時株主総会プレゼンテーション資料
（3,312KB）
-
2019/05/29 2019年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項
（226KB）
-
2019/05/29 2019年定時株主総会招集ご通知
（462KB）
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2019/05/28 コーポレートガバナンスの強化及び役員の異動に関するお知らせ
（132KB）
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2019/05/14 決算説明会資料（2019年5月14日）
（1,772KB）
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2019/05/13 株式分割及び株式分割に伴う定款の一部変更に関するお知らせ
（136KB）
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2019/05/13 2019年3月期 決算短信〔日本基準〕（連結）
（238KB）
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2019/04/19 Webサイトをリニューアルいたしました。
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2019/04/11 IRカレンダーを更新しました。
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2019/02/13 四半期報告書-第22期第3四半期(2018年10月1日-2018年12月31日)
（88KB）
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2019/02/12 2019年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
（177KB）
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2019/02/12 2019年3月期第3四半期決算概要(補足説明資料)
（1,025KB）
-
2019/02/05 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ
（129KB）
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2019/01/07 IRカレンダーを更新しました。
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2018/12/21 年末年始の休業についてお知らせ12月29日（土）から1月6日（日）の間、年末年始のお休みとさせていただきます。ご不便をおかけしますが、よろしくお願いいたします。
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2018/12/06 自己株式の取得結果及び取得終了に関するお知らせ
（126KB）
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2018/12/03 自己株式の取得に係る事項の決定に関するお知らせ
（129KB）
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2018/12/03 子会社株式の譲受けについて
（145KB）
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2018/11/30 第22期中間株主通信
（996KB）
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2018/11/14 四半期報告書-第22期第2四半期(2018年7月1日-2018年9月30日)
（100KB）
-
2018/11/14 中間決算説明会資料（2018年11月14日）
（2,522KB）
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2018/11/13 2019年3月期第2四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
（184KB）
-
2018/11/13 業績予想の修正に関するお知らせ
（137KB）
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2018/11/12 フレキシブルマイクロLEDディスプレイ用製造装置受注のお知らせ
（158KB）
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2018/11/08 イノテック株式会社との業務提携および合弁会社の出資比率変更について
（207KB）
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2018/11/07 第28回ファインテック・ジャパン出展および専門技術セミナーでの講演について
（480KB）
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2018/10/11 IRカレンダーを更新しました。
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2018/08/31 海寧半導体周辺産業パークの起工式について
（357KB）
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2018/08/14 四半期報告書-第22期第1四半期(2018年4月1日-2018年6月30日)
（82KB）
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2018/08/13 2019年3月期 第1四半期決算短信[日本基準](連結)
（180KB）
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2018/08/13 2019年3月期第1四半期決算概要(補足説明資料)
（1,004KB）
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2018/07/12 IRカレンダーを更新しました。
-
2018/06/29 第21期株主通信
（1,176KB）
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2018/06/29 投資単位の引下げに関する考え方及び方針等について
（66KB）
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2018/06/27 2018年3月期 有価証券報告書
（1,210KB）
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2018/06/20 ウシオ電機株式会社と当社との間の訴訟に関するお知らせ(続報)
（90KB）
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2018/05/31 2018年定時株主総会招集ご通知
（580KB）
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2018/05/15 決算説明会資料（2018年5月15日）
（2,164KB）
-
2018/05/14 2018年3月期決算短信[日本基準](連結)
（365KB）
-
2018/04/27 合弁会社設立に関するお知らせ（続報）
（139KB）
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2018/04/09 IRカレンダーを更新しました。
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2018/04/05 Lumiotec株式会社の子会社化について（続報）
（131KB）
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2018/03/12 合弁会社設立に関するお知らせ
（198KB）
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2018/03/06 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ
（128KB）
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2018/02/14 2018年3月期 第３四半期報告書
（459KB）
-
2018/02/13 業績予想および配当予想の修正に関するお知らせ
（145KB）
-
2018/02/13 2018年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
（172KB）
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2018/02/06 次世代蒸着マスク製造及び蒸着技術開発子会社の設立について（続報）
（132KB）
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2018/02/06 Lumiotec株式会社の子会社化について
（142KB）
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2018/02/02 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ
（130KB）
-
2018/01/12 IRカレンダーを更新しました。
-
2018/01/11 大手ディスプレイメーカより大口受注のお知らせ
（131KB）
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2017/12/10 年末年始の休業についてお知らせ12月28日（木）から1月3日（水）の間、年末年始のお休みとさせていただきます。ご不便をおかけしますが、よろしくお願いいたします。
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2017/12/10 第21期中間株主通信
（993KB）
-
2017/11/13 中間決算説明会資料（2017年11月13日）
（1,177KB）
-
2017/11/13 2018年3月期 第２四半期報告書
（504KB）
-
2017/11/10 2018年3月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
（196KB）
-
2017/10/13 次世代蒸着マスク製造及び蒸着技術開発子会社の設立について
（256KB）
-
2017/10/10 IRカレンダーを更新しました。
-
2017/10/05 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ
（133KB）
-
2017/08/14 2018年3月期 第１四半期報告書
（471KB）
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2017/08/10 2018年3月期 第1四半期決算短信［日本基準］（連結）
（169KB）
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2017/07/20 IRカレンダーを更新しました。
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2017/07/13 新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ
（63KB）
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2017/07/07 ウシオ電機株式会社と当社との間の訴訟に関するお知らせ
（152KB）
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2017/06/30 第20期株主通信
（922KB）
-
2017/06/28 2017年3月期 有価証券報告書
（1,236KB）
-
2017/06/27 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行に関するお知らせ
（120KB）
-
2017/06/06 2017年定時株主総会招集ご通知
（576KB）
-
2017/05/25 投資単位の引下げに関する考え方及び方針等について
（119KB）
-
2017/05/23 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（137KB）
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2017/05/16 決算説明会資料（2017年5月16日）
（780KB）
-
2017/05/15 2017年3月期決算短信〔日本基準〕（連結）
（385KB）
-
2017/05/15 定款一部変更に関するお知らせ
（143KB）
-
2017/05/11 業績および配当予想の修正に関するお知らせ
（82KB）
-
2017/04/12 IRカレンダーを更新しました。
-
2017/03/23 第27回ファインテック・ジャパン出展および専門技術セミナーでの講演について
（583KB）
-
2017/02/14 2017年3月期 第３四半期報告書
（467KB）
-
2017/02/13 業績および配当予想の修正に関するお知らせ
（87KB）
-
2017/02/13 2017年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)
（763KB）
-
2017/01/24 IRカレンダーを更新しました。
-
2016/12/27 年末年始の休業についてお知らせ12月29日（木）から1月3日（火）の間、年末年始のお休みとさせていただきます。ご不便をおかけしますが、よろしくお願いいたします。
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2016/12/20 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（139KB）
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2016/12/12 第20期中間株主通信
（986KB）
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2016/11/25 電子公告（子会社吸収合併に関するお知らせ)
（67KB）
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2016/11/25 子会社吸収合併（簡易合併）に関するお知らせ
（176KB）
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2016/11/15 中間決算説明会資料（2016年11月14日）
（688KB）
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2016/11/14 2017年3月期 第２四半期報告書
（522KB）
-
2016/11/11 2017年3月期 第2四半期決算短信[日本基準](連結)
（734KB）
-
2016/10/11 IRカレンダーを更新しました。
-
2016/08/25 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ
（119KB）
-
2016/08/22 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（143KB）
-
2016/08/16 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（87KB）
-
2016/08/12 2017年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)
（747KB）
-
2016/08/12 2017年3月期 第１四半期報告書
（495KB）
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2016/07/26 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行に関するお知らせ
（183KB）
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2016/07/13 IRカレンダーを更新しました。
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2016/07/05 第19期株主通信
（658KB）
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2016/06/29 ウシオ電機株式会社の当社に対する仮処分決定のお知らせについて
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2016/06/27 2016年3月期 有価証券報告書
（1,279KB）
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2016/06/24 中期経営計画の策定に関するお知らせ
（968KB）
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2016/05/26 （訂正）「平成28年3月期 第3四半期決算短信［日本基準］（連結）」の一部訂正について
（85KB）
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2016/05/18 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（136KB）
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2016/05/11 決算説明会資料（2016年5月11日）
（428KB）
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2016/05/10 営業外損失（為替差損）の計上に関するお知らせ
（123KB）
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2016/05/10 業績予想の修正に関するお知らせ
（142KB）
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2016/05/10 特別損失（減損損失）の計上に関するお知らせ
（120KB）
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2016/05/10 2016年3月期 決算短信[日本基準](連結)
（1,029KB）
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2016/04/19 競争力、イノベーション力強化に向けた取り組みについて
（224KB）
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2016/04/11 IRカレンダーを更新しました。
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2016/03/31 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（86KB）
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2016/03/23 オー・エイチ・ティー株式会社の株式取得（子会社化）に関するお知らせ
（133KB）
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2016/03/04 第26回ファインテック・ジャパン出展および専門技術セミナーでの講演について
（603KB）
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2016/02/12 2016年3月期 第３四半期報告書
（456KB）
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2016/02/10 2016年3月期 第3四半期決算短信[日本基準](連結)
（743KB）
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2016/01/09 サイトメンテナンスのお知らせ。1月10日の23時から1月11日の8時まで、サイトのメンテナンスを行います。アクセスが不安定になることがありご迷惑をおかけするかもしれませんが、ご了承賜りますよう宜しくお願いいたします。
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2016/01/08 IRカレンダーを更新しました。
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2015/12/18 年末年始の休業についてお知らせ。12月29日（火）から1月3日（日）の間、年末年始のお休みとさせていただきます。ご不便をおかけしますが、よろしくお願いいたします。
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2015/12/09 第19期中間株主通信
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2015/11/17 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（86KB）
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2015/11/11 中間決算説明会資料（2015年11月11日）
（553KB）
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2015/11/11 2016年3月期 第２四半期報告書
（493KB）
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2015/11/10 業績予想の修正に関するお知らせ
（87KB）
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2015/11/10 子会社設立に関するお知らせ
（99KB）
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2015/11/10 2016年3月期 第2四半期決算短信[日本基準](連結)
（738KB）
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2015/11/09 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（87KB）
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2015/10/27 昆山微鉄克光電設備有限公司の開所式を行いました。
（178KB）
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2015/10/15 IRカレンダーを更新しました。
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2015/09/29 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（85KB）
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2015/09/24 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ
（91KB）
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2015/09/16 テレビ用IPS 液晶パネル光配向露光装置受注のお知らせ
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2015/08/13 2016年3月期 第１四半期報告書
（457KB）
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2015/08/12 2016年3月期 第1四半期決算短信[日本基準](連結）
（702KB）
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2015/07/15 IRカレンダーを更新しました。
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2015/07/06 局所レーザーアニール技術についてSID で講演いたしました。
（99KB）
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2015/06/30 第18期株主通信
（975KB）
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2015/06/26 2015年3月期 有価証券報告書
（1,230KB）
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2015/06/01 株式取得（子会社化）完了及び商号変更等に関するお知らせ
（129KB）
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2015/05/12 決算説明会資料（2015年5月12日）
（473KB）
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2015/05/11 特別損失（減損損失）の計上に関するお知らせ
（65KB）
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2015/05/11 2015年3月期 決算短信〔日本基準〕（連結）
（1,791KB）
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2015/04/27 「内部統制システム構築の基本方針」の一部改定に関するお知らせ
（106KB）
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2015/04/21 NSK テクノロジー株式会社の株式取得（子会社化）に関するお知らせ
（116KB）
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2015/04/06 738ppi対応超高精細蒸着マスク「FHM(Fine Hybrid Mask)」をファインテックジャパンへ参考出展
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読む 738ppi対応超高精細蒸着マスク「FHM(Fine Hybrid Mask)」をファインテックジャパンへ参考出展
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2015/04/02 IRカレンダーを更新しました。
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2015/03/05 科学技術振興機構「産学共同実用化開発事業」開発課題「大型フラットパネルディスプレイ向けレーザアニール技術」採択に関するお知らせ
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読む 科学技術振興機構「産学共同実用化開発事業」開発課題「大型フラットパネルディスプレイ向けレーザアニール技術」採択に関するお知らせ
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2015/03/02 第25回ファインテック・ジャパン出展のご案内
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2015/03/02 第25回ファインテック・ジャパン「専門技術セミナー」にて講演いたします。
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2015/02/10 2015年3月期 第3四半期報告書
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2015/02/09 営業外収益（為替差益）の計上に関するお知らせ
（132KB）
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2015/02/09 2015年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
（1,270KB）
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2015/01/26 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ
（128KB）
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2015/01/08 IRカレンダーを更新しました。
